1
产品详情
针对洁净室中微量MA、MB、MC、MD和MM进行监测，监测结果可用于制定污染物防控措施，保证半导体芯片的质量和制造过程的环境安全。
AMC为AirborneMolecularContaminants的缩写，从字面意义来看，是初始状态为气相。行为像单一分子的气态污染物，或者说是在环境中有能力沉降于材料表面形成单分子层薄膜的化学污染物，译为“悬浮分子污染物”或“气载分子污染物”。简言之，AMC就是对产品或工艺设备及其流程有不良影响的非粒子状的悬浮化学污染物。国际半导体设备和材料协会在SEMIF21-95，F21-1102中给出了AMC气体的分类体系。该标准适用于半导体业的洁净环境，指定了4个“标准范围”：酸（MA），碱（MB），冷凝物（MC），杂物（MD）。涵盖所有对产品或工艺有危险的AMC，不仅适用于半导体生产，也适用于药品生产。
具体详情，敬请联系我们！
相关产品
客户留言
