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产品详情
洁净室内会逸散较多的AMC污染物,由于重力或气流的原因会沉积在晶圆、芯片表面将对产品良率产生影响,在无法改变进风量的时候,就需要用到室内微循环AMC污染物治理装置。
AMC污染物治理装置可对酸、碱、有机物进行高效治理。
所需风量可定制!
详情请联系销售!
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